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微波開關芯片的研究與設計
1.3 微波開關
微波開關從結構上可以分為雙端口開關和三端口開關, 三端口開關可以由雙端口開關組合而成, 雙端口開關主要指單刀單擲開關(SPST) , 如圖 1-1(a) 所示, 三端口開關主要指單刀雙擲開關(SPDT) , 如圖 1-1(b) 所示, 對于單刀多擲開關(SPMT, M>2) , 其本質上也屬于三端口開關, 因為它們在任何一種工作模式下, 等效電路的端口都可以歸結為發射端口、 接收端口和隔離端口。 開關自發射端口發射信號, 在接收端口接收信號, 隔離端口不希望接收到任何信號, 通過切換工作模式, 其端口定義發生改變, 從而實現開關工作狀態的變化。 雙端口開關的接收端口和隔離端口相重合, 當重合的端口依開關工作狀態而定義為接收端口時, 發射端口到隔離端口支路自動開路, 不用考慮這個支路上的信號損耗和泄露。 因此雙端口開關的設計相較于三端口開關要簡單得多, 而且也基于這個原因, 雖然任意的三端口開關都可以拆解為兩個雙端口開關, 但并不是所有的雙端口開關都可以組合成三端口開關。 開關電路特性的好或壞主要可以從插入損耗、隔離度和功率處理能力等方面衡量。
1.4 硅基金屬氧化物半導體場效應管(MOSFET)
金屬氧化物半導體場效應管(MOSFET) 是一種廣泛用于集成電路設計與制造的場效應晶體管。 MOSFET 在結構上以一個金屬(多晶硅) -氧化層-半導體襯底的電容為核心, 通過改變這個電容的電壓控制反型層的寬度, 從而控制流過溝道的電流大小。 MOSFET 工藝越先進, 意味著其溝道長度越小, 溝道電阻越小, 同時也意味著柵極、 源極和漏級面積減少, 從而可以降低等效的柵極電容和寄生電容。 另外, 更小的柵長也使 MOSFET 的單位電流增益截止頻率(f t ) 更高, 從而所允許的工作頻率也更高。 但是, 柵長越小的 MOSFET 柵氧化層會越薄, 從而柵極擊穿電壓會減小。 而且, 短溝道效應會更加嚴重, 這進一步惡化 MOSFET 的穩定性和可靠性。
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